寶德8713型采用數字通信的流量控制器
- 更新時間:2024-11-06
- 廠商性質:工程商
- 產品廠地:上海市
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寶德8713型采用數字通信的流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內對氣體進行質量流量控制。直接位于氣流中的熱MEMS傳感器可以實現*速度的響應。一個直動式 Bürkert比例閥作為執(zhí)行元件,確保了良好的響應靈敏度。集成PI控制器,令MFC具備的控制特性。8713型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準,用戶可以在兩者之間進行切換。與上級設備的通信*采用數字形式,這樣一來,就可以省去額外的數模轉換。8713型質量流量控制器適合多樣化應用,例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應堆、燃料電池技術或者試驗臺。
寶德8713型采用數字通信的流量控制器主要特點:
標稱流量范圍:0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復性高
調控速度特別快
通過 RS485 進行數字通信
緊湊型版本
技術數據:
控制范圍:1:50
建立時間:<3秒
重復性:±0.1%F.S.
操作氣體:中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1:5 ... 15000 mlN / min2)
校準氣體:使用轉換因子操作氣體或空氣
環(huán)境溫度:-10 ... + 50°C
介質溫度:-10 ... + 70°C(氧氣為-10 ... + 60°C)
工作壓力:10 bar(145 psi),取決于閥的孔口
建立時間:<3秒準確度:±1.5%o.R. ±0.3%F.S.(30分鐘預熱時間后)
指數N:流量相對于1.013巴和0℃。另外還有一個指數S可用,指的是1.013巴和20°C
額定流量值是大值,可以控制的流量值被校準,該額定流量范圍定義了可能的額定流量范圍(滿量程值)。
測量原理:實際流量由傳感器檢測,這根據熱原理運行,該原理具有輸送質量流量而不需要對所需壓力或溫度進行任何校正的優(yōu)點。總氣流的一小部分被轉移到專門設計的小型通道中,以確保層流條件。傳感器元件是浸入該通道壁中的芯片。該芯片包含一個加熱抗體和兩個溫度傳感器(熱電堆),它們對稱地布置在加熱器的上游和下游。熱電堆的差分電壓是通過該旁路通道的質量流量的度量。校準程序實現了傳感器信號與通過設備的總流量的分配。
選擇單位注意事項:為了正確選擇MFC內的執(zhí)行器孔口,不僅需要獲得大流量,而且還應該知道在此流量下的MFC(p1,p2)之前和之后的壓力值。通常,這些壓力是與整個設備的整體入口和出口壓力不一樣,因為通常在控制器之前和之后都有附加的流量電阻器(管道,附加截止閥,噴嘴等)。如果這些數據應該是未知的或不能被測量使用,則估算應分別考慮流量電阻在MFC前后的近似壓降。